В пособии изложена теория основных методов исследования (оптические, рентгенодифракционные, электронографические) структуры магнитных и немагнитных полупроводниковых и диэлектрических кристаллов и эпитаксиальных пленок и устройств на их основе, а также металлических материалов. Рассмотрены области применения указанных методов исследования.
Учебное пособие для студентов вузов, специализирующихся по материаловедению и технологии полупроводниковых и диэлектрических материалов и приборов, а также физике металлов. Может быть полезно инженерно-техническим и научным работникам и аспирантам, занятым в области получения, исследования и применения материалов электронной техники.
