Наноэлектроника

Учебное пособие составлено на основе курса лекций "Наноэлектроника", читаемого студентам специальностей "Микро- и наноэлектронные технологии и системы" и "Квантовые информационные системы" в Белорусском государственном университете информатики и радиоэлектроники. В нем рассмотрены фундаментальные физические эффекты, имеющие место в наноструктурах и обусловленные их пониженной мерностью. Дана классификация низкоразмерных структур. Описаны подходы, позволяющие формировать такие структуры в полупроводниках, а также современные методы их исследования. Обсуждаются особенности транспорта носителей заряда в наноразмерных структурах.

Для студентов вузов, аспирантов и специалистов.